Konstrukce vakuových zařízení dle požadavku zákazníka

Kompletní výroba vakuových zařízení a vakuových komor

Vlastní obráběcí a svařovací centrum - profesionální obrábění nerezových materiálů

Ucelené technologické systémy pro vakuové napařování a naprašování

Návrhy,výroba a prodej vakuových komponentů-upínky,redukční systémy,vlnovce,měrky,ventily

Napařovací zařízení VNZ 1202

TECHNICKÝ POPIS

VNZ 1202 je jednokomorové zařízení s pracovním prostorem uvnitř válcového recipientu s klenutými víky s vertikální osou. Na horním víku jsou umístěny dva průzory a příruba pro systém připouštění pracovního plynu. Pracovní prostor je přístupný po zvednutí recipientu pomocí hydraulického zařízení.

Standardní technologické vybavení pracovního prostoru obsahuje čtyři odporové odpařovače,elektrodu vysokonapěťového výboje a rotační přípravek pro umístění substrátu. Vertikální osa přípravku má plynule regulovatelné otáčky od 0 do 5 ot/min.

Pracovní prostor je čerpán vakuovou soustavou složenou z rotační, Rootsovy a dvou difúzních vývěv a lapačů par. Všechny prvky vakuového systému jsou vyrobeny z korozivzdorné oceli.

Celý pracovní cyklus od spuštění zařízení, čištění výbojem, napařování a měření napařené vrstvy pro bíhá zcela automaticky dle zadaných parametrů pomocí mikroprocesorového řídicího systému. Technologický proces je monitorován zobrazovací jednotkou. Tím je možno dosáhnout velké přesnosti a jakosti napařené vrstvy.

Poloautomatický provoz umožňuje řízení technologického procesu podle přímé volby obsluhy. Tento provoz je chráněn před chybnou obsluhou nebo důsledky výpadku elektrického proudu blokováním nežádoucích funkcí.

Elektronická a silová součást zařízení je umístěna v odděleném stojanu.

Programové vybavení napařovacího zařízení umožňuje:

-plně automatický provoz čerpací jednotky va zvoleném režimu.
-plně automatický pracovní cyklus od založení zboží až po zavzdušnění pracovního prostoru s možností jednoduché volby posloupnosti jednotlivých činností a s možností ručního zásahu ve zvolených bodech cyklu.
-čištění vsázky vysokonapěťovým výbojem.
-automatické přepínání odpařovačů v průběhu cyklu.
-napařování ze čtyř odporových odpařovačů o napětí 4 nebo 8V a max.proudu 800A ručně nebo automaticky dle zadaných hodnot.
-předžhavení a odplynění odpařovačů.
-regulaci a měření rychlosti napařování.
-regulaci a měření tloušťky napařené vrstvy.
-v základním provedení možnost napaření až dvaceti vrstev v jednom cyklu(po dohodě s výrobcem lze libovolně zvýšit).

Síťové napájecí napětí Max.příkon	3 PEN ~ 50Hz 380V TN-C 20kVA
Umístění vsázky -standardní provedení Umístění vsázky -zvláštní vybavení	rotační přípravek průměr 1060mm v horizontální rovině dle požadavku zákazníka
Provozní údaje(prázdná a odplyněná aparatura)	2.10-3 Pa za 20 min.
Měření vakua-vakuometr PIRANI -vakuometr PENNING	rozsah 105 - 10-1 Pa rozsah 7.10-1 - 5.10-4 Pa
Chladící voda -spotřeba -přípojky	1 m3 /hod přívod G 3/4" odpad G 3/4"
Přívod tlakového vzduchu	Js 11

Dále provádíme konstrukci a výrobu vakuových komor na zakázku